我司深耕工具硬質鍍膜靶材多年,已供應各式靶材種類與尺寸予各大客戶使用中。我司並且具有開發多元素特殊靶材之技術能力,可以依據客戶需要做特殊調整。

目前已用於Balzers , Kobelco,Hauzers , Platit , Ionbond , SwissPVD , Performcoat, Surftech 等多家工具硬質鍍膜設備上使用。

目前我司可提供之靶材規格如下 : 

材料 純度 (%) 成分比例 (at% 原子比)
鈦靶 (Ti ) 99.6 / 99.9 /99.99 n/a
鉻靶 (Cr)  99.5 / 99.8 /99.9 / 99.95 /99.99 n/a
鋁鈦靶 (AlTi) n/a 25:75 ; 50:50 ; 60:40 ; 67:33
鈦矽靶材(TiSi) n/a 80:20 ; 82:18 ; 85:15 ; 90:10
鋁鉻靶材(AlCr) n/a 70:30 ; 80:20
鋁鉻矽靶材(AlCrSi) n/a 70:20:10 ; 70:15:5 
碳化矽靶材(SiC) 99.9 n/a
稀土類靶材 TBD TBD

除一般規格之外,另若有特殊靶材規格成分,以及尺寸設計需求,我司能以多年經驗協助客戶,客訂製作開發新鍍膜塗層。

目前主要靶材生產技術,皆使用HIP高溫熱等均壓設備製作,以提供最小晶粒以及最佳均質性的靶材,給予客戶使用。

若有需求歡迎與我司洽詢 。